罗茨风机叶轮本身不平衡所引起的振动，其产生的原因有：叶轮上的零部件松动、变化、变形或产生不均匀的腐蚀、磨损;工作介质中的固体颗粒沉积在转子上;检修中更换的新零部件重量不均匀;制造中叶轮的材质不绝对匀称;加工精度有误差、装配有偏差等。
罗茨风机叶轮与主轴配合间隙过大。
主轴发生弯曲。
基础或机座的刚性不够或不牢，基础钢板薄弱、垫铁松动、位移;地脚螺栓松动等。
基础下沉、倾斜或有裂纹。
机组安装水平度不好，转子挠度有变化。
罗茨风机由于安装不良造成的联轴器中心找正误差过大。
联轴器与轴配合间隙过大;弹性套间隙过大或间隙不均。
机壳内有摩擦现象，叶轮歪斜与机壳内壁相碰。
集流器与罗茨风机叶轮之间的间隙不均匀，或有摩擦现象。
轴承磨损，间隙过大;轴颈磨损，轴承内套与轴颈配合间隙大。
输送介质通道是堵塞、锈蚀、污垢。
罗茨风机进风管道、出风管道安装不良。
各部位的连接螺栓松动。
电气方面的缺陷引起的振动：定子三相磁场不对称，由于三相电压不平衡，单相运行等原因导致磁中心错位;定子铁心或定子线圈松动，使定子电磁振动和噪声加大;电机气隙不均引起的电磁振动;转子导体故障，有松动的零件等。