28纳米铜工艺刻蚀后晶圆清洗液，填补国内空白;第二代超高产能原子层沉积背钝化镀膜设备，属全球首创……正在上海松江举办的G60科创走廊科技节上，一个又一个具有影响力的科技成果，充分反映了本次科技节的主题“G60科创走廊——全力打造上海具有全球影响力科创中心的重要承载区”。
理想晶延半导体设备(上海)有限公司副总经理姜蔚表示，公司自主研发的用于太阳能电池行业的第二代超高产能原子层沉积背钝化镀膜设备，全球首创采用超快速原子层沉积的纳米镀膜技术，克服了超大基板镀膜的技术瓶颈，将生产节拍从44秒每批次跨越到29秒每批次，设备单位时间的产能从原来的3500片每小时提高到6000片每小时，单位生产效率提升近一倍。
除了重大科技成果展示，首次公布的上海松江G60科创走廊科技进步报告也令人瞩目，阐述了为上海建设具有全球影响力的科技创新中心贡献的“松江元素”。
报告显示，“松江创造”主体不断壮大。2017年度，松江区共有242家企业通过高新技术企业认定，其中新认定130家，重新认定112家，净增83家，高新技术企业总数达到602家。
同时，在政策的扶持和激励下，科技企业加大了研发投入，加快了知识产权转化，企业科技成果转化为高技术产品后产生了可观的经济效益，构成了“钱变纸”“纸变钱”的科创链条。2017年，松江区共有46个项目获得高新技术成果转化项目认定，比2016年增长31.4%。同年，松江区专利申请总量11781件，同比增长13.0%;授权总量6490件,同比增长25.8%;全区有效专利拥有量达26629件，同比增长18%。
集聚各类创新资源方面也成效明显。据不完全统计，目前松江全区集聚了全国两院院士25名，美国和加拿大院士5名，国家千人计划人才16名。这些人才的集聚，将助推科技创新能力的进一步提升。
据悉，本届科技节活动从5月18日至26日在松江区范围内展开，按“1+5+X”的模式开展。即“一场开幕式”+“五大重点活动”+各街镇(园区)、各委办局、创新主体、科普教育基地等若干场科技活动。
(责任编辑：李洋)